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浙大 “羲之” 光刻机:科研落地如何打通商业化堵点

2025
10/30
本篇文章来自
捷多邦

浙江大学余杭量子研究院研发的 羲之光刻机,不仅是技术突破,更破解了高校科研 重研发、轻转化的长期困局。这款设备从立项到进入应用测试耗时 6 年,期间并非闭门造车 —— 团队早期就联合宁波舜宇光电、合肥科烨等企业,针对 实验室精度量产效率的矛盾展开攻关,最终将加工效率提升 3 倍,让电子束光刻机从 科研工具变成 产业装备

 

科研转化的关键,在于精准对接市场需求。传统实验室版电子束光刻机虽能实现高精度,但单晶圆加工需 4 小时,远不能满足芯片企业的量产要求。羲之团队通过走访华为海思、比亚迪半导体等下游厂商,明确 效率优先、精度达标的优化方向,最终通过改进电子束扫描算法、升级纳米定位平台,将加工时间压缩至 1.5 小时,成功适配量产场景。

 

地方政府的支持也为转化加速。杭州余杭区不仅提供 2.3 亿元专项资金,还搭建了高校 - 零部件企业- 终端厂商的对接平台,解决了核心部件供应链分散、测试场景缺失等问题。这种 研发端+产业端+政策端的三方协同,让 羲之避开了科研成果 沉睡实验室的陷阱。

 

随着 羲之进入应用阶段,量子芯片与车规级芯片的量产进程加快,线路板产业也将迎来新需求。高端芯片对信号传输的稳定性要求更高,传统线路板的抗干扰能力、布线精度已难满足,具备电磁兼容设计、高频高速特性的线路板产品需求将增长,线路板企业需提前与芯片厂商协同,优化产品工艺以适配新场景。


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