HDI微孔为什么会出现孔底残胶?

2026/8/21 10:37:26 6

HDI激光微孔出现孔底残胶,主要是因为激光钻孔后,介质树脂没有被完全去除,或者钻孔过程中产生的树脂分解物、碳化物等残留在微孔底部,没有在后续清洁、除胶工序中彻底去除。

孔底残胶会隔在微孔与下一层Target Pad之间,影响后续沉铜、电镀和层间连接。轻微时可能造成接触面积不足,严重时可能导致微孔开路或热循环后的可靠性失效。

因此,孔底残胶是HDI微孔制造中需要重点控制的问题之一。


一、HDI微孔的孔底在哪里?

以L1-L2激光盲孔为例:

L1铜层

介质层

L2 Target Pad

激光需要穿过L1-L2之间的介质材料,并准确停止在L2目标铜面。

因此,所谓“孔底”,就是微孔最终与下一层Target Pad连接的位置。

正常情况下,激光加工和除胶完成后,需要让L2目标铜面充分暴露,为后续沉铜和电镀建立可靠连接。


二、孔底残胶是怎么产生的?

激光钻孔并不是像机械钻孔一样通过钻针直接切削材料,而是利用激光能量对树脂等介质材料进行烧蚀。

加工过程中可能产生:

· 未完全去除的树脂

· 树脂分解残留物

· 碳化物

· 玻纤相关残留

· 其他介质加工残留

如果这些物质停留在Target Pad表面,就会形成孔底残胶。

因此:激光把孔打出来 ≠ 孔底已经完全干净。


三、激光能量不足为什么会造成残胶?

如果激光能量不足,介质材料可能没有完全被去除。

可能表现为:

· 孔深不足

· 孔底树脂没有完全打开

· Target Pad局部仍被树脂覆盖

这时从PCB表面看,微孔可能已经形成,但孔底实际没有充分露铜。

后续沉铜和电镀就难以与Target Pad形成良好连接。

因此,激光参数需要与介质材料和厚度相匹配。


四、激光能量是不是越大越好?

不是。

为了避免残胶而盲目提高激光能量,也可能带来其他问题。

例如:

· Target Pad受到损伤

· 孔底铜面烧蚀

· 孔型异常

· 孔口扩大

· 孔壁状态恶化

所以激光钻孔需要在:

介质充分去除避免损伤目标铜层

之间找到合理的工艺窗口。

这也是HDI激光钻孔控制难度较高的原因之一。


五、介质材料为什么会影响孔底残胶?

不同HDI材料对激光能量的吸收和烧蚀特性不同。

例如不同:

· 树脂体系

· 玻纤结构

· 填料含量

· 介质厚度

在相同激光参数下,实际加工效果可能不同。

如果直接沿用其他材料的激光参数,就可能出现介质没有完全去除或者孔底状态异常。

因此,高频高速材料、特殊树脂体系等HDI项目通常需要根据材料特性调整激光加工参数。


六、介质厚度为什么会影响残胶?

介质越厚,激光需要去除的材料越多。

例如同样采用0.10mm激光孔:较薄介质可能比较容易形成合理孔型。

如果介质明显变厚,则需要加工得更深。

这时微孔深径比增加,孔底加工和后续清洁难度也会提高。

可能增加:

· 孔底树脂残留

· 孔壁残留

· 除胶不充分

· 金属化困难

因此,HDI设计需要让激光孔径与介质厚度合理匹配。


七、为什么微孔越小,孔底越难清洁?

孔径缩小后,化学药液进入和流出微孔的条件会变得更加苛刻。

尤其是:小孔径 + 较深微孔

孔底的残留物更难被充分处理。

例如同样介质厚度下:0.15mm微孔0.075mm微孔

后者的孔底清洁和除胶工艺窗口通常更窄。

因此,不能只考虑激光设备能不能打出0.075mm微孔,还要考虑后续工序能不能把孔处理干净。


八、为什么激光钻孔后还要做除胶?

激光钻孔只是形成孔结构。

为了保证孔底和孔壁适合后续金属化,还需要进行相应的清洁和除胶处理。

主要目的包括:

· 去除孔底残余树脂

· 去除激光加工残留物

· 清洁Target Pad表面

· 改善后续沉铜条件

如果除胶不足,即使激光已经基本打开孔底,仍可能存在薄层残留。

这层残留可能直接影响铜与Target Pad之间的结合。


九、除胶不足为什么会影响微孔电镀?

HDI微孔最终需要建立:孔壁铜层 → 孔底 → Target Pad

之间的连续金属连接。

如果Target Pad表面存在残胶,相当于铜与铜之间隔了一层绝缘物。

可能出现:

· 孔底沉铜不完整

· 电镀连接面积不足

· 局部高电阻

· 微孔连接薄弱

· 严重时开路

因此,孔底清洁状态直接影响后续微孔金属化质量。


十、为什么有些残胶问题电测不一定马上发现?

部分微孔即使孔底存在局部残胶,仍可能有一部分区域完成铜连接。

这时裸板电测可能仍然显示:导通正常。

但实际有效连接面积可能已经明显减小。

经过:

· SMT回流焊

· 多次热循环

· 高低温变化

· 长期工作

薄弱连接可能进一步产生裂纹或失效。

最终表现为:常温正常,热机异常

或者:出厂正常,使用一段时间后开路

因此,HDI微孔不能只依靠最终开短路测试判断可靠性。


十一、孔底残胶和微孔裂纹是一回事吗?

不是。

孔底残胶

主要属于激光加工和孔底清洁问题。

它发生在:微孔与Target Pad连接界面。

微孔裂纹

则可能与:

· 铜厚

· 微孔结构

· 热应力

· 材料CTE

· 电镀质量

等因素有关。

但两者可能存在关联。

如果孔底残胶造成有效连接面积不足,在后续热循环中,这个位置就可能成为薄弱点。


十二、孔底残胶为什么在高阶HDI中更需要注意?

高阶HDI具有更多微孔和更多积层过程。

例如三阶HDI可能包含:

L1-L2

L2-L3

L3-L4

如果其中某一级微孔孔底处理不良,就可能影响整个垂直连接结构。

尤其是叠孔:

L1-L2

L2-L3

L3-L4

其中任意一级存在残胶或连接不足,都可能成为整个Stacked Via结构的潜在失效位置。

因此,HDI阶数越高,对每一级微孔的加工一致性要求通常越高。


十三、如何判断HDI微孔有没有孔底残胶?

常见检查方式包括:

· 金相切片

通过截面观察微孔孔型、孔底和铜连接状态。


· AOI等过程检查

对相应线路和制造过程进行监控。


· 电气测试

检查明显的开路问题。


· 四线低阻测试

针对部分高可靠性项目检查连接电阻异常。


· 可靠性测试

通过热循环等方式验证微孔连接稳定性。

其中,金相切片是分析微孔孔底结构的重要方法之一。


十四、如何减少HDI微孔孔底残胶?

· 合理匹配激光参数

根据树脂体系、介质厚度等调整激光能量和加工参数。


· 控制微孔深径比

避免使用过小孔径配合过厚介质。


· 加强除胶处理

确保激光加工残留得到充分清洁。


· 控制Target Pad表面状态

为后续沉铜和电镀提供良好的铜面基础。


· 避免盲目使用最小微孔

0.10mm已经能够完成布线时,没有必要全部缩小到0.075mm。


· 高阶HDI加强过程检查

特别关注叠孔、Via in Pad等高密度区域。


十五、设计端怎么降低孔底残胶风险?

设计人员虽然不能直接控制激光参数,但可以给制造留下更合理的工艺窗口。

重点可以考虑:

· 不盲目缩小微孔

· 微孔与介质厚度合理匹配

· 给Target Pad留下足够尺寸

· 避免不必要的高阶HDI

· 减少极限连续叠孔

· 提前确认特殊材料的激光加工能力

例如:0.075mm孔 + 较厚介质 + 小Target Pad + 三阶叠孔

如果多个参数同时接近制造极限,微孔制造和可靠性风险都会明显提高。


十六、聚多邦HDI微孔制造能力

聚多邦支持1—5阶HDI、高多层及Fine Pitch BGA PCB制造,可根据材料、介质厚度和微孔结构进行DFM评估。

· 激光微孔

支持0.075—0.15mm激光微孔,具体孔径根据介质厚度和结构进行评估。


· HDI

支持1—5阶HDI,包括1+N+1、2+N+2、3+N+3等结构,并可根据项目评估任意层互连。


· Via in Pad

支持盘中孔及相关填孔工艺,可用于Fine Pitch BGA高密度互连。


· 微孔检测

根据项目要求,可结合电气测试、四线低阻、金相切片等方式对微孔连接状态进行检查。

对于高阶HDI、连续叠孔和较小激光微孔项目,建议设计阶段就确认介质厚度、微孔孔径和Target Pad尺寸,避免多个参数同时接近制造能力边界。


常见问题

1. 激光钻孔完成后为什么还需要除胶?

激光钻孔可能留下树脂分解物或其他加工残留,需要进一步清洁孔底和孔壁,为后续沉铜、电镀建立良好的表面条件。


2. 孔底残胶会直接造成开路吗?

严重残胶可能造成开路;局部残胶也可能使有效连接面积减小,形成潜在可靠性风险。


3. 为什么0.075mm微孔更需要关注残胶?

在相同介质厚度下,孔径越小,深径比越大,孔底加工、清洁和金属化的工艺窗口通常越窄。


4. 电测通过是不是说明没有孔底残胶?

不一定。局部残胶情况下仍可能保持导通,需要结合切片和可靠性验证判断微孔连接质量。


5. 孔底残胶主要是设计问题还是生产问题?

直接形成原因通常与激光钻孔、材料和除胶工艺有关,但极小孔径、较厚介质和极限微孔结构也会增加制造难度,因此设计与制造两端都需要控制。


结语

HDI微孔出现孔底残胶,本质上是激光钻孔后,Target Pad表面的介质和加工残留没有被充分去除。

它可能来自:激光参数不匹配、材料特性、介质过厚、微孔过小以及后续除胶不足。

真正的风险并不只是“孔底看起来不干净”,而是残胶会直接影响:Target Pad暴露 → 沉铜 → 电镀 → 微孔连接 → 热循环可靠性。

因此,控制HDI孔底残胶需要从微孔设计、材料选择、激光钻孔、除胶清洁到后续金属化整个流程共同控制。